El laboratorio microanalítico Geller introduce el MRS-4, su estándar de calibrado de aumento de tercera generación (el MRS-3 está disponible actualmente). Nuestras serie MRS de estándares de calibrado está formada por estándares de paso altamente aceptados, con más de 1,000 entregados. Los ofrecemos como un estándar rastreable u, opcionalmente, sin rastreabilidad. Ofrecemos, también, un servicio de limpieza y un programa de recertificación, según sea requerido por estándares internacionales de calidad como ISO 9000, QS-9000 e ISO 17025.
El MRS-4 es fabricado usando el equipo de manufactura de semiconductores de escritura electrónica directa de la mayor precisión disponible en la actualidad. El patrón es de cromo antirreflejante (30nm de CrO2 sobre 70nm de Cr) en cuarzo. El tamaño total es.de 25mm X 9mm X 2.3 mm de grueso. El tamaño se puede modificar para aplicaciones especiales (tales como el soporte o montaje de material TEM en una oblea grande) a 3 mm de grueso u otro tamaño a la medida. Para aplicaciones que requieran de una muestra eléctricamente conductora, el MRS-4 está recubierto con un material patentado que permite la observación de la imagen a cualquier voltaje de aceleración. Una ventaja distintiva de este recubrimiento es que los trazos del haz electrónico que se generan por contaminación, se pueden quitar mediante decapado de plasma. Sin embargo no aconsejamos al cliente la limpieza de la contaminación, dado que el recubrimiento mismo puede fácilmente ser removido, de manera no intencional. La aplicación de un recubrimiento fresco restituye el RS-4 a una condición semi-nueva. Y cuando un MRS-4 es presentado para re-certificación, como parte del paquete, la superficie de la parte superior es limpiada adecuadamente y se aplica un recubrimiento nuevo. Si por alguna razón no quiere presente este recubrimiento conductor, eso sería una orden especial, (pero por el mismo precio); no obstante se nos tiene que avisar en el momento de la colocación del pedido.
El diseño geométrico del MRS-4 tiene grupos de cuadrados anidados de varios órdenes de magnitud que abarcan pasos de ½ µm, 1 µm, 2 µm, 50 µm y 500 µm. Hay una regla recientemente incorporada a los estándares que es de 6 mm de largo con incrementos de 1µm. Medimos y certificamos la graduación (la distancia entre las líneas paralelas repetitivas usando el espaciamiento centro-a-centro o borde-a-borde). Este es el único tipo de medición que se puede utilizar para relacionar mediciones provenientes de diferentes técnicas de microscopía (ver "Submicrometer Linewidth Metrology in Optical Microscopy", Nyysonen & Larrabee, Journal of the Research of the National Bureau of Standards, Vol. 92, No. 3, 1987). Las mediciones de ancho de línea (la medición de una sola línea o el ancho de su espacio) solamente se pueden relacionar si se utiliza el mismo tipo de iluminación que para el instrumento de calibración, puesto que los efectos de borde conducen a incertidumbre en las ubicaciones de los extremos. Utilizando mediciones de paso, los errores de ubicaciones extremo-a-extremo se cancelan, en tanto que sean medidas posiciones similares. Se dan varios ejemplos en las ilustraciones de esta guía de recursos.
Las cajas cuadradas se usan para la medición del aumento en las direcciones X e Y simultáneamente. Esto da una medida de la inclinación de imagen, transposición, estrangulamiento y otras no-linealidades que pueden tener diversos orígenes, como los campos de dispersión magnética. Con el MRS-4 hemos provisto múltiples cajas para los pasos ½, 1, y 2 µm.
El patrón más grande tiene una dimensión total de un cuadrado de 8mm. Contiene líneas y espacios que son nominalmente de de 250 µm de ancho (haciendo un paso de 500 µm). Esto se puede usar para verificar los aumentos de 10X - 100X. Los pasos de 50 µm son útiles desde 100x - 1000X. Los patrones de paso de 2, 1, y ½ µm permitirán calibrados hasta de 200,000X. La "regla" tiene una longitud total de 6mm en las direcciones X e Y. Los incrementos de 1µm tienen gráficas cada 10µm y líneas enfatizadas y gráficas cada 50 µm y 100 µm.
Se incluyen cuadrados y rectángulos desde 1 - 31 µm en incrementos de 1 µm; de 30 - 75 µm en incrementos de 5 µm; y de 70 - 120 µm en incrementos de 10 µm. También se incluye un arreglo de 4 patrones repetidos de círculos con diámetros que van de 2 - 39 µm en incrementos de 2 µm y de 40 - 100 µm en incrementos de 10 µm. Estos patrones son útiles para verificar el desempeño y ajuste de los sistemas de conteo de tamaños de partícula. Según nuestra experiencia es muy difícil obtener la distribución adecuada de tamaño, sabiendo la respuesta correcta. Los patrones también se pueden usar para determinar la imagenología y resolución espacial química y mapeo químico. Dado que los círculos y rectángulos no son patrones de paso, no se pueden hacer rastreables.
La precisión del patrón está siendo determinada ahora por el Laboratorio Nacional de Física (National Physical Laboratory) en el Reino Unido. Basados en mediciones previas MRS, la precisión del patrón de paso de 500 µm fue de ±0.25 µm, y ±0.02 µm para los patrones de 50 µm y 2 µm.
La altura del escalón es de 100 nm en dirección vertical. El calibrado-z no es útil para microscopía óptica o SEM pero puede ser muy útil para confocal y cualquier tipo de perfilometría.
El MRS-4NT está disponible en tres formas diferentes: Sólo el producto básico, como se describe, pero sin ningún calibrado, certificación o trazabilidad (NT= No rastreable). Este es SPI# 02775-AB. O como se describe arriba pero con un calibrado y certificación completos en las direcciones X e Y (pero no la dirección Z). Este es SPI# 02776-AB.
O como se describe arriba pero con un calibrado y certificación completos no solamente en X e Y sino también en la dirección Z. Este es SPI# 02777-AB
Seguimos las indicaciones ISO de certificación y rastreabilidad. Está incluido el número de serie único, grabado en el estándar, los datos de certificación, la fecha de vencimiento para la recertificación, el operador, la instrumentación utilizada, las mediciones reales del patrón así como una medida de precisión.
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