La base para todas las operaciones comunes al recubrimiento sputter / carbón.
De estructura pequeña y de bajo perfil, esta unidad da poder tanto al módulo de
recubrimiento Sputter como al de carbón... ¡o a ambos! (Nota: el Módulo Unidad de Control
de Vacío no tiene función alguna si trabaja solo).
A diferencia de otras unidades, el enfriamiento es raras veces necesario,
pero cuenta con conexiones para agua si se requiere; una válvula de aguja de control
fino en el panel frontal; vacuómetro de rango 0.001 (válvula Pirani);
conexiones de bomba de vacío en la parte posterior. Disponible el Monitor de Espesor
de Cristal de Cuarzo (Opcional).
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