Trampa para Bombas de Álabe Rotatorio

Utilice esta excelente trampa para reducir cualquier reflujo que pueda provenir de la bomba.

Toda bomba mecánica que está conectada a una bomba de difusión o a otro equipo tal como recubridores sputter, grabadores de plasma, o limpiadores de plasma, van a presentar una cierta cantidad de "reflujo" de los vapores de aceite hacia la línea de vacío y contra el volumen que se está bombeando. A aún cuando las bombas de vacío sean las mejores que se pueden manufacturar y considerando que el reflujo de vapores nunca es de cero, hay un potencial de que tales vapores sean disruptores del volumen que están bombendo. Cuando la bomba mecánica se usa en una bomba de difusión, tales vapores de reflujo pueden afectar el desempeño de la bomba de difusión, y como consecuencia, degradar las características del sistema de vacío. Los vapores de reflujo en un sputter pueden afectar negativamente la calidad del material de recubrimiento y dañar muestras importantes. Tales vapores también pueden afectar el desempeño de un grabador de plasma.

Entonces, para los mejores resultados, recomendamos la instalación de una trampa frontal.

Hay diferentes tipos de trampas frontales:
Se encuentra la trampa frontal descrita anteriormente para específicamente prevenir o minimizar cualquier reflujo de vapores de aceite en una bomba mecánica, pero existe otro tipo de bomba que está diseñado para mantener vapores corrosivos o de otra naturaleza química fuera del contacto con la cámara, evitando así que se genere daño o corrosión. Este tipo de bomba es más cara y actualmente no la comercializa SPI Supplies.

Recomendamos el uso de la trampa frontal en conjunción con el Limpiador de plasma SPI y con Sputter SPI Module™ y, Limpiador de plasma SPI "Plasma Prep™ II".

	SPI #	Unidad
Trampa frontal Leybold Model RST16KF rellenable	10407FK-AB	705.53

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