Grabador por Plasma / Calcinador, Plasma Prep™ Jr. de SPI

¡Alto poder por menos dinero!

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El Plasma Prep Jr. de SPI, se ofrece en dos configuraciones:

Reactor de cámara de rápida reacción, ideal para muestras que pueden tolerar exposición a altas temperaturas. Para muestras termosensibles, simplemente reduzca la potencia del plasma y extienda el tiempo de proceso. La cámara Pyrex de esta unidad mide 4" de diámetro y 6" de longitud.

Reactor enfriado con agua, con una platina enfriada por agua que permite largos procesos a bajas temperaturas. La unidad enfriada por agua viene en dos tamaños: Pequeño, con una potencia de 100-500 watts y una cámara que mide 8" x 6" x 2" y Grande, con una potencia de 100 - 700 watts y una cámara de tamaño 9" x 7" x 3".

Tecnología de Microondas para un grabado por plasma económico

El Plasma Prep Jr. de SPI ofrece una alternativa tecnológica y económica a comparación de otros equipos de plasma. A través de la energía de microondas, el Plasma Prep Jr. puede remover orgánicos y algunos inorgánicos (y sus óxidos) de varias superficies, incluyendo metales, semiconductores y cerámicos.

El proceso de grabado requiere de un sangrado del sistema con un gas con las propiedades químicas adecuadas para grabar la superficie de la muestra tratada. Por ejemplo, si han de removerse orgánicos, se utiliza oxígeno. O si se va a remover una capa de pasivación de un material electrónico, se emplea tetrafluoruro de carbono u otro gas fluorinado.

A comparación con el grabado por plasma RF, el Plasma Prep Jr. de SPI opera a presiones de gas más altas, resultando en una velocidad de grabado más rápida. Eso significa tratar un mayor número de muestras, pero también menor discriminación cuando se busca contraste mediante grabados diferenciales. La unidad enfriada por agua permite mantener de forma económica el calentamiento de la muestra de temperatura ambiente a 150° C.

NOTA: Las muestras en el Plasma Prep Jr. desarrollan altas temperaturas, tanto que normalmente no es recomendable para polímeros. Pero no pierda de vista que la ventaja más grande es que más poder puede generarse por menos dinero. Entonces, para un usuario con un presupuesto limitado y que requiere una cámara relativamente amplia (por ejemplo, una mayor que la del Plasma Prep II ) puede considerarse una buena opción, aunque debe tenerse cuidado para combatir problemas por sobrecalentamiento. En el Plasma Prep Jr. de SPI las capas de cristal que se depositan por pasivación pueden removerse cuando se lleva a cabo un análisis de fallas. Sin embargo, en algunos casos, independientemente de los mejores esfuerzos, los materiales pueden no resistir temperaturas elevadas. Aún con esto, es posible ajustar la potencia y utilizar el sistema a niveles menores en el calentamiento de la muestra, minimizando el problema.

Accessorios:

Recirculador de Agua. Hace el sistema independiente de conexiones de agua, extendiendo la vida de los elementos intercambiadores de calor. Makes the system independent of water lines, and results in longer life of the heat exchanging elements.
Trampa de Iones. Protege materiales sensibles de la acción de sputter que pueda tener el plasma. Esta trampa neutraliza iones cargados (dejando solamente radicales neutros para la limpieza de las muestras) y actúa como una caja de Faraday que protege a la superficie de la muestra de microondas dentro de la cámara.
Controlador para Gas. Contiene todos los controles para gas y vacío para la operación del equipo, y provee potencia para las bombas de vacío y el sistema de recirculación de agua.
Bomba de Vacío. Leybold, D2.5E, 2.1 Pies cúbicos / Minuto, a dos etapas, mecánica; Fomblin® cargada.
Plataforma de proceso y tenazas especiales. Facilita la manipulación al interior del reactor.

Unit	SPI #	Ea.
Reactor de cámara Plasma Prep Jr.	11001-AB	$6969.60
Plasma Prep Jr., enfriado con agua (Pequeño)	11002-AB	7035.00
Plasma Prep Jr., enfriado con agua (Grande)	11003-AB	8295.00

Accessorios
Recirculador de Agua	11001WC-AB	450.00
Trampa de Iones	11001IT-AB	165.38
Controladores para gas	11001G-AB	2000.00
Plataforma para Proceso	11001P-AB	157.50
Tenazas especiales	11001T-AB	183.75

Bomba Recomendada:
Leybold D2.5E, 2.1 Pies cúbicos/ Minuto (at 60 Hz)
Bomba de Vacío "Fomblinizada"	10405-AB	$4325.00

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